国度常识产权局信息显现，合肥致真精密拓荒有限公司肯求一项名为“一种兼容性等离子体清洗腔及等离子体加工拓荒”的专利，公开号CN121607376A，肯求日历为2025年12月。

专利提要显现，本发明公开了一种兼容性等离子体清洗腔及等离子体加工拓荒，等离子体清洗腔包括由样品腔、等离子体发生腔、进气腔循序协调组成的腔体，所述进气腔与等离子体发生腔之间设有匀气安设，所述匀气安设包括从下往上循序同轴建设的下匀气皿、外遮罩环和内遮罩环，其中下匀气皿的顶板上沿径向开设有多个匀气区域，澳门新浦京游戏下载调度外遮罩环、内遮罩环的位置来调度各个匀气区域的开或闭，调度工艺气插足等离子体发生腔中的位置与分区流量。本发明在进气腔与等离子体发生腔之间建设匀气安设，工艺气经两段匀气后插足等离子体发生腔中，导致气体疏远位置不同，激励等离子体能量密度分辨也不换取，亚搏适用于不同尺寸的待清洗工件，幸免能量奢靡。

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天眼查尊府显现，合肥致真精密拓荒有限公司，陶冶于2021年，位于合肥市，是一家以从事通用拓荒制造业为主的企业。企业注册成本234.4827万东谈主民币。通过天眼查大数据分析，合肥致真精密拓荒有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标神气41次，财产萍踪方面有商标信息9条，专利信息43条，此外企业还领有行政许可4个。

声明：市集有风险，投资需严慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不组成个东谈主投资提出。

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发布于：北京市

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